產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀

產(chǎn)品型號

GSL-1100X-SPC-16C

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風裝置：不需要

主要特點

配備了熱蒸發(fā)附件，可以蒸發(fā)碳絲或者其他材料，如鋁、不銹鋼等材料，同時具有濺射和蒸發(fā)的功能。因此擴展了應用范圍，特別適用于掃描電鏡樣品表面噴金或蒸金、蒸碳使用。

技術參數(shù)

1、靶：?50mm

2、樣品臺：?50mm

3、真空室：?160mm×110mm

4、真空度：4×10-1mbar-2×10-2mbar

5、極限電流：50mA

6、可設定極限時間：9999s

7、極限電壓：1600V  DC可調

8、真空泵：4L兩級機械旋轉泵，極限真空2×10-2mbar（也可選配國產(chǎn)分子泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：L400mm x W310mm x H390mm     重量：50 kg

標準配件

1

金靶材

1個

2

碳繩

1根

3

鎢絲籃

2個

4

熱蒸發(fā)附件

1套

5

進氣針閥

1個

6

保險絲

2個

可選配件

金、銦、銀、白金等各種靶材