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SolidSpec-3700/3700DUV紫外分光光度計

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適用于光學(xué)、半導(dǎo)體及FPD應(yīng)用—島津UV-VIS-NIR分光光度計

是一款高靈敏度分光光度計,可進行深紫外區(qū)檢測,具備大樣品室,可滿足光學(xué)、半導(dǎo)體及FPD在以下方面的檢測需求。

FPD:
材料評估中NIR和大樣品的高靈敏度測定。

半導(dǎo)體:
短波長激光和12英寸晶片整體表面的深紫外區(qū)測定。

光通信: 
減反射膜NIR高靈敏度測定。

光學(xué)
從DUV到NIR再到大樣品的高靈敏度分析。

SolidSpec-3700/3700DUV特點

高靈敏度
SolidSpec-3700和3700DUV是使用3個檢測器的分光光度計:光電倍增管(PMT)探測器檢測紫外區(qū)和可見光區(qū),近紅外區(qū)使用InGaAs 和 PbS檢測器。InGaAs 和 PbS檢測器的使用使得近紅外區(qū)域的靈敏度顯著增強。

深紫外區(qū)檢測
SolidSpec-3700DUV具有檢測深紫外區(qū)的能力,可測定至165nm或175nm的積分球。此檢測是用氮氣吹掃光室和樣品室進行的。注: 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光單元DDU-DUV測定)的短波長。

大樣品室
大樣品室(900W x 700D x 350H mm) 可在不損傷大樣品的前提下進行檢測。其垂直光路可直接測量大樣品同時保持它們的水平狀態(tài)。使用自動X-Y樣品臺(選配)測定樣品的尺寸是12英寸或310×310mm。

Optional Accessories選配組件

Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光單元DDU/DDU-DUV對于液、固樣品透過率測定
自動X-Y樣品臺(自動測量)
大型鏡面反射附件
氮氣流量裝置
 鏡面反射附件(5°12°30°45°)
積分球刪除樣品盤

一體軟件

SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe軟件包括光譜模塊,光度模塊,動力學(xué)及報告模塊等功能。多重的安全性及可追蹤性以確保刪除數(shù)據(jù)的可靠性。

高靈敏度

光學(xué)組件需要對透光率及反射率進行高精度測定。SolidSpec-3700/37000DUV擁有三個檢測器,覆蓋的范圍從紫外區(qū)到近紅外區(qū)。通過使用InGaAs和冷卻型PbS檢測器提高近紅外區(qū)的靈敏度。從而得到從紫外區(qū)到近紅外區(qū)高精度和高靈敏度光譜。

傳統(tǒng)的分光光度計使用一個光電倍增管對紫外和可見區(qū)域進行檢測。但所有檢測器在檢測器轉(zhuǎn)換范圍內(nèi)靈敏度較低,因此在此范圍檢測時無法實現(xiàn)高靈敏度測定。 SolidSpec-3700/3700DUV通過使用InGaAs檢測器可在轉(zhuǎn)換領(lǐng)域內(nèi)進行高靈敏度檢測。

高靈敏度檢測

InGaAs檢測器和PbS 檢測器測定銳截止濾光片透過率的譜圖如下圖所示:SolidSpec-3700/3700DUV從850至1600nm范圍內(nèi)實現(xiàn)了低噪音水平,與傳統(tǒng)的分光光度計相比,1300至1600nm范圍內(nèi),噪聲減少了四分之一。

SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm,在透過率小于1%的前提下,噪聲水平小于0.1%。此波長范圍的高靈敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成為檢測低反射樣品的強有力工具,如在光傳輸中使用的防反射涂層及薄膜。

1500nm處的噪聲,小于0.00005Abs(狹縫寬度8nm,RMS),刪除使用直接受光單元DDU/DDU-DUV.小于0.00003Abs(狹縫寬度2nm,RMS)


深紫外區(qū)檢測


隨著以ArF激發(fā)激光為代表的使用深紫外激光的高精度激光儀器的發(fā)展,提高了對光學(xué)材料深紫外區(qū)透過率和反射率的測定要求。

SolidSpec-3700DUV使用積分球時可在175nm-2600nm的范圍測定,而使用選配件直接受光單元DDU-DUV時可在165nm-3300nm的范圍測定。

使用此附件,可實現(xiàn)從深紫外區(qū)到近紅外區(qū)寬范圍的測定。

空氣中的氧分子會吸收190nm以下的深紫外光,需要使用氮氣吹掃光室和樣品室以除去氧分子的干擾。SolidSpec-3700DUV各單元都設(shè)有吹掃入口,可進行充分的氮氣吹掃,以實現(xiàn)深紫外區(qū)的高靈敏度和低雜散光。

為進行深紫外區(qū)的測定,檢測器的窗口和積分球內(nèi)壁均使用不吸收深紫外光的材料,SolidSpec-3700DUV的PMT檢測器使用特制熔融石英作為窗口材料,積分球內(nèi)壁使用深紫外區(qū)具有高反射性能的特殊樹脂。

深紫外區(qū)高靈敏度和低雜散光測定

深紫外區(qū)的高精度測定要求充足光通量和低雜散光。
右圖是使用直接受光單元DDU-DUV(選配)測定石英板的透過率光譜。
在紫外區(qū)域可得到低噪聲的光譜。

大樣品室

SolidSpec-3700/3700DUV配有大樣品室,可使大樣品進行無損檢測。其內(nèi)部尺寸為900W x 700D x 350H。

可測定的樣品尺寸700W x 560D x 40H mm。樣品尺寸為12英寸或310 x 310 mm的樣品可用自動X-Y樣品臺(選配)
使用X-Y樣品臺的大樣品室

使用X-Y樣品臺測定12英寸硅片

自動檢測

為SolidSpec-3700/3700DUV研發(fā)的自動X-Y樣品臺可對提前指定點進行自動檢測,同時又可進行氮氣吹掃。

12英寸硅片上SiO2薄膜的反射光譜

12英寸硅片上薄膜的厚度測定



1、鑒定物質(zhì)
根據(jù)吸收光譜圖上的一些特征吸收,特別是吸收波長λmax和摩爾吸收系數(shù)ε是檢定物質(zhì)的常用物理參數(shù)。這在藥物分析上就有著很廣泛的應(yīng)用。在國內(nèi)外的藥典中,已將眾多的藥物紫外吸收光譜的吸收波長和吸收系數(shù)載入其中,為藥物分析提供了很好的手段。
2、與標準物及標準圖譜對照
將分析樣品和標準樣品以相同濃度配制在同一溶劑中,在同一條件下分別測定紫外可見吸收光譜。若兩者是同一物質(zhì),則兩者的光譜圖應(yīng)完全一致。如果沒有標樣,也可以和現(xiàn)成的標 準譜圖對照進行比較。這種方法要求儀器準確,精密度高,且測定條件要相同。
3、比較大吸收波長吸收系數(shù)的一致性
4、純度檢驗
5、推測化合物的分子結(jié)構(gòu)
6、氫鍵強度的測定
實驗證明,不同的極性溶劑產(chǎn)生氫鍵的強度也不同,這可以利用紫外光譜來判斷化合物在不 同溶劑中氫鍵強度,以確定選擇哪一種溶劑 。
7、絡(luò)合物組成及穩(wěn)定常數(shù)的測定
8、反應(yīng)動力學(xué)研究
9、在有機分析中的應(yīng)用
有機分析是一門研究有機化合物的分離、鑒別及組成結(jié)構(gòu)測定的科學(xué),它是在有機化學(xué)和分析化學(xué)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的綜合性學(xué)科。